当前位置：成都汉普升科技有限公司磁控溅射沉积成都真空厂家 surpass复合磁控溅射镀膜机
●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。
●磁控靶组件：4个矩形靶，3个圆形靶，根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源；
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