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  4．真空泵不可混入柴油、汽油等其它饱和蒸汽 压较大的油类，以免降低极限真空。拆洗泵内零 件时，一般用纱布擦拭即可以。若发现有金属碎 屑、砂泥或其它有害于人体健康的物质必须清洗时，可用汽油 等擦洗，干燥后方可装配，切忌用汽油浸泡。

  油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上 调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某 一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压 缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的 气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇 阀。

  线、从地球表面向外空延伸，离地面距离越远，空气越稀薄； 2、宇航员在外空间时都必须穿上太空服，一方面就为了防止宇 航员被负压伤害。 3、气相薄膜沉积过程中的线、霓虹灯管或日光灯管； 5、AES，XPS，SEM，TEM等设备 …… 其中，1和2属于自然线属于人为真空。人为真空一定要通过 真空泵系统来实现。

  一、注意事项： 1．保证真空泵的清洁，防止杂物进入泵内。 2．保持线．存放下当水份或其它挥发性物质进入泵内而影响极限真空时，

  可开气镇阀净化之，观察极限真空回升情况，数小时无效，应更 换泵油，必要时可再次更换。 换油方法：泵运转约半小时，使油变稀，停泵从放油孔放油，再敞开 进气口运转10～20秒钟，此间可从吸气口缓缓加入少量清洁泵 油，以更换泵腔内存油。如出来的油很脏，后者可重复进行。

  低温真空泵 (又称低温泵、冷泵、冷凝 泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原 理抽气的容积式真空泵，是无油高真空 环境获得设备。低温泵应用于半导体、 集成电路、光电器件的制造工艺过程， 是集成电路专用设备中的关键设备之一； 低温泵也用在所有其它镀膜设备和真空 应用设备中，如离子束溅射VEECO镀膜 机。

  气镇法是防止蒸汽凝结从而避免油污染的有效方法。这 种方法是将室温干燥的空气经气镇孔进入泵的压缩腔 中与被抽气体相混合。当把这种混合气体压缩到排气压 力时，由于掺气作用使得其中的蒸汽分压能保持在泵温 状态的饱和蒸气压以下，因而蒸汽不会凝结而与其它气 体一起被排至泵外。被抽气体中蒸汽的含量越多，掺入 的干燥气体量就需越多。

  1643年，意大利物理学家托里折利演示了著名的大气压实 验，揭示了“真空”这一物理状态。

  为了使被研究的样品不被周围气氛所污染，获取“原子清 洁”的表面，薄膜制备和衬底表明产生过程往往是在真空 或超高真空中进行的。目前，人们所普遍的使用的薄膜制备 系统都具有真空系统，光学镀膜也是如此。不管是采用蒸 镀还是溅射方式，都必须在真空环境下进行。“真空”是 光学镀膜技术的基础。了解与镀膜相关的真空知识对于掌 握镀膜工艺和操作至关重要。

  真空等级 低线、使用前，应仔细阅读产品使用说明书，按要求安装，接线、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵 内存油盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满 油标，多了要放出。

  3、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住， 是正向，被吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常是反向。

  1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影 响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常 现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺 塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。

  2．可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。 3．环境和温度过高时，油的温度上升，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限

  ——是表示真空泵性能的两个重要参数。极限压强是该系统所能达到的最 低压强；抽气速率是在规定压强下单位时间抽出气体的体积，它决定抽真空所 需要的时间。

  Pu-真空泵的极限真空（Pa）， Q-泵内各种气源（Pa·L/s）， S-泵的抽气速 率（L/s）， V-真空室体积（L）， Pi-被抽空间气体的分压强（Pa），t-时 间（s）

  5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气 镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以 延长泵油寿命。

  1. 泵与容器相连，在70 mbar时空气已基本排 净，接下来将主要抽排蒸汽粒子。

  6、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油型 真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类线、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。全压力计应注意做 好计与规管的配对校准和备用比对规管。建议在规管与被测泵之间 装一球阀。不测时关阀，可延长规管使用时间。

  1大气压下气体分子密度约为2.687×1025/m3； 气压1×10-4Pa的高真空中，气体分子密度约为2.65×1016/m3；

  …… 宇宙中，气体分子密度﹤109/km3，甚至每km3只有几个气体分子。

  按照工业标准的规定，真空绝不是“完全空”，而是一种“低于一个标准大 气压的气体充满空间的状态”。由此可知，工业领域所说的真空，与我们平时想 象中的“完全空”的真空相差十万八千里。空无一物的理想真空，其实就是不存 在的。

  2.在环境和温度540范围内，进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运 转，被抽气体相对湿度大于90%时，应开气镇阀。

  3.进气口连续畅通大气运转不允许超出一分种。 4.不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，

  抽真空即利用各种真空泵将被抽容器中的气体抽出，使 该空间的压强低于一个大气压。

  ➢ 旋转式机械真空泵 ➢ 油扩散泵 ➢ 复合分子泵 ➢ 分子筛吸附泵 ➢ 钛升华泵 ➢ 溅射离子泵 ➢ 低温泵

  属于气体捕获泵，即通过种种吸气材料特有的吸 气作用将被抽气体吸除，以达到所需真空。不需 要油作为介质，又称为无油泵

  ★什么是真空？（工业标准的真空） ★真空的衡量（单位及换算关系） ★真空的划分（低、中、高和超高真空） ★真空的获得（泵的类型，泵的原理及真空系统）

  真空会降低，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性 能，极限线．检查旋片式真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校 验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强 计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。

  1. 旋片泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。它可单独作用，也可作为 增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵，维持泵，钛泵的预抽泵用。可用于电真空器 件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。 因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。

  由于大气中都含有一定量的水蒸气，所以泵工作时所抽除的气 体多是某些可凝性气体和永久性气体的混合物。这种混合气体 在泵内被压缩排气的过程中，如果可凝性气体的分压力超过了 泵温下的饱和蒸气压，那么它们就会凝结并与泵油混合，随油 一起循环。当它们返回到高真空端时又重新蒸发变成蒸汽。随 着泵的运转，凝结物持续不断的增加，使泵的极限真空和抽速降低。 当抽除的气体中湿度较大时，泵油的污染更严重，使泵的密 封、润滑和冷却性能变差，以至于经常更换新油。

  低温线）低温冷凝。由于低温泵冷板表面温度很低，极容易将撞击其表面之 气体分子粘住，使其温度急速下降而被冻结，从而减低空间中的分子 数。

  在实际应用中怎样合理规划利用气镇排除可凝气体: 众所周知，可凝气体的凝结取决于它的分压和温度。 抽排可凝气体的“黄金法则”:

  § 在做工艺以前暖泵(开气镇工作半小时) § 工艺过程保证气镇开启 § 工艺结束后在开气镇的条件下再运行一段时间 § 在泵的耐压范围内抽排可凝气体

  然而，针对我们的机器来讲，由于工作环境相当好，真空系统中的可 凝气体很少，而且要求真空度较高(开气镇会降低泵的抽真空能力)， 所以在实际中没有必要每次都进行这样的操作，只需要在真空泵性能 降低的时候开气镇放气就可以了。

  气体分子的流动逐渐从黏流状态向分子 状态过渡，此时气体分子之间和分子与 器壁之间的碰撞次数差不多

  气体分子的流动已为分子流，气体分子 与容器壁之间的碰撞为主，而且碰撞次 数大幅度减少，粒子沿直线飞行

  气体分子数目很少，几乎不存在分子间 的碰撞，分子与器壁的碰撞机会也很少 此时气体分子在固体表面上是以吸附停 留为主。