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  1、开水泵、气源。 开总电源。 开保持泵、真空计电源，线后，再进入下一步操作。约需5分钟。

  2、⑨ 真空镀膜机注册冷却水，发动分散泵，加热40min。⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段丈量方位。低线”内指针顺时针移动，当指针移动至7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

  3、．在真空镀膜机工作一般的情况下，开动真空镀膜机时，有必要先开水管，工作中应随时留意水压。2．在离子轰击和蒸腾时，应分外的留意高压电线接头，不得牵动，以防触电。3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。

  4、镀膜机操作过程 翻开冷却水开关、空压机开关（空压机赤色按钮向上拔为翻开，向下按为封闭）和镀膜机总电源开关。将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下，刻蚀带一侧接近样品托蓝色线。手动敞开转架至少滚动一周以上，看是否有刮蹭，假如滚动正常，封闭线、**放入真空室**：清洁和烘烤完成后，基底和靶材需求放入真空镀膜设备的真空室中。这时，需求查看设备的密封性，以保证在镀膜过程中可以保持满足的真空度。 **抽真空**：放入真空室后，需求发动真空泵进行抽真空。