工艺展览

  当镀膜机产生毛病后应首要要向使用者了解毛病的现象，之后要亲 自开机调查毛病的现象，这样才能够更精确、更快、更合理的排除毛病。

  排除毛病应先检测低真空是不是正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、 蒸腾室），低真空正常后再开主泵，主泵作业正常后检测下室真空中是 否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至到达作业 真空，极限真空、保真空、康复真空，如极限真空和保真空正常，而 康复真空和作业真空不正常则或许主泵有问题。

  二、长时刻作业的镀膜机抽真空的时刻很Fra Baidu bibliotek且达不到作业真空、恢 复真空、极限线、蒸腾室有许多粉尘（应清冼） 2、分散泵好久未换油（应清冼换油） 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油） 4、各动密封胶圈损坏（替换胶圈） 5、因为蒸腾室长时刻温度过高使其各密封胶圈老化（替换胶圈） 6、蒸腾室各引进水路密封处是否有胶圈损坏（替换胶圈） 7、各引进座螺钉、螺母有无松动现象（从头压紧） 8、凹凸预阀是否密封牢靠（注油） 注：以上仅供参考具体问题具体分析处理

  以下罗列常见毛病及修理办法： 一、当正在镀膜时线、蒸腾源水路胶圈损环（替换胶圈） 2、坩埚被打穿（替换坩埚） 3、高压电极密封处被击穿（替换胶圈） 4、工滚动密封处胶圈损坏（替换胶圈） 5、预阀忽然封闭或许是二位五通阀损坏（替换二位五通阀） 6、高阀忽然封闭或许是二位五通阀损坏（替换二位五通阀） 7、机械泵停机或许是继电器断开（查看继电器是否作业正常） 8、烘烤引进线电极密封处被击穿（替换胶圈） 9、挡板动密封处胶圈损坏（替换胶圈） 10、玻璃调查视镜呈现裂纹、迸裂（替换玻璃）