工艺展览
光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期正式封顶估计年末投产
2024.02.29
作者: 工艺展览
集微网音讯,上海宝山高新技能产业园区音讯,4月10日,光驰半导体技能(上海)有限公司半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期正式封顶,项目估计2023年末投产。
据悉,该项目于2022年9月23日开工,总出资5.48亿元,项目悉数建成后年产能高精度原子层镀膜机120台和5台刻蚀机,将成为光驰在台湾、日本、芬兰等地研制效果的转化基地,进一步稳固光驰在原子层镀膜和刻蚀设备范畴的领先地位。
据上海宝山高新技能产业园区介绍,光驰科技(上海)有限公司,2000年入驻南部园区。2022年,光驰科技将传统光学和半导体技能交融,在北部园区出资建立光驰半导体技能(上海)有限公司,建造半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目。
光驰半导体技能(上海)有限公司是光驰科技(上海)有限公司的全资子公司,后者建立于2000年,是株式会社光驰(OPTORUN CO.,LTD)出资建立,以高精度镀膜机的规划与制作为根底的外资独资型企业。(校正/赵碧莹)
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