工艺展览

  1、挑选膜系：在DELL电脑界面上，依据镜片分光要求，按select选 择膜系； 2、按start键后,会弹出对话框,按continue键，持续弹出对话框,再按 continue,会提示烧灯丝60s,之后等候镀膜 留意：若镀膜过程中产生报警,则首要消除报警,再查找报警原因。

  3、发动离子源:右下脚有两绿灯亮器为离子源发动成功。 4、离子源的发动要在中和器发动后120秒才干进行; 5、假如离子源发动失利,能够终究靠加大Ar1进行重新发动。

  抽线、先要对真空室进行完全清洁，然后装入镀膜镜片，关好线、在触摸屏控制面板上，MAIN菜单里的EVAPORATION CONTROL界面 挑选CHAMBER EXHAUST，如下图所示。 3、抽气是各阀门的封闭和发动，机器会主动进行。

  系中挑选正确的坩埚方位，保存并封闭。 2、点START键 3、TIO2需熔两遍，然后点击cancel撤销熔料膜系，熔料完结。

  留意：熔料时能够手动发动中和器，留意不行发动离子源。 1.开Ar气：分别将Ar1和Ar2加到20和8

  跋文下方位，作为熔料的初始方位，。 3、 SIO2熔完一圈后，先按 ACC/FIL 键封闭电子枪，然后按 RORARION 键，封闭

  SIO2坩埚旋转。 留意： CCW为顺时针旋转， CW为逆时针旋转，镀膜时为顺时针旋转。