工艺展览

  当时方位：成都汉普升科技有限公司电阻电子束堆积成都真空厂家 Research电子束蒸发镀膜机

  ●该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜体系，一起兼容IBE等离子刻蚀和在线辅佐镀膜，过流部件均选用SUS304制作，真空体系后置，规范装备分子泵体系，标配工业级人机界面和西门子PLC体系，手动和主动形式自在切换，能够很好的满意工业客户小批量出产和科研院所客户科研试验的需求。该系列设备不供给全手动操作操控体系。

  ●工件架体系：客户的实在需求定制，装备可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的专用交换工装，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选，行星工件盘本钱较高。

  ●烘烤体系：不锈钢铠装加热器匹配数字功率操控器和PID操控模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超越2℃。

  ●电子束蒸发源：E型电子束蒸发源体系(E型)1套，主体有屏蔽罩，单枪、单电源、单扫描，装备独立高压操控柜。

  ●膜厚检测体系：配瑞士inficon石英膜厚在线 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探头。

  ●操控办理体系：老练牢靠的真空镀膜操控体系，工业级10英寸触摸屏和西门子PLC，能够在必定程度上完结抽真空、工转烘烤、主动充气、主动镀膜、主动冷却放气等镀膜出产流程；支撑半主动和手动等镀膜操作方法。水、电、气路有毛病主动报警和维护体系，选用声光报警。

  ●阐明：依照每个用户要求，公司愿与客户联合研制，同享知识产权，公司致力于工艺与设备匹配。

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