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工艺展览

剖析铝诱导晶化真空蒸镀多晶硅薄膜技术

2024.01.21 作者: 工艺展览

  由于电池工艺可以大大降低硅材料的消耗,从而大大地减少相关成本,且能保证转换效率,因此成为当今科学研究和光伏产业的热点。铜铟硒薄膜曾被认为是理想的光伏材料,电池效率能够达到15%,然而其制备过程中需要对主要半导体工艺参数精确控制及原材料不足严重制约着其生产和发展。碲化镉薄膜太阳能电池在可见光段有很高的吸收系数,太阳能电池转换效率能够达到10%以上,然而镉是有毒元素,在生产和使用的过程中会对环境能够造成不良影响。非晶硅薄膜禁带光吸收性比较强,电池只需做到几微米厚,但是其光致衰退现象很严重,大幅度的降低了人们对它的热情。多晶硅薄膜能够克服以上几种薄膜的缺点,从而成为当前研究的重点和未来发展的趋势。

  目前,多晶硅薄膜常用的制备方法有等离子体增强化学气相沉积,热丝化学气相沉积,准分子激光晶化,固相晶化,快速热处理等。现有研究采用真空蒸镀法制备非晶薄膜后经铝诱导晶化得到多晶硅薄膜。相比其它方法,该方法具有工艺简单,晶化温度较低,晶化时间比较短,薄膜晶化率较高,晶粒尺寸较大等特点。通过原子力显微镜、拉曼光谱等分析手段深入研究了衬底距离、衬底温度、退火温度等对薄膜表面形貌、晶粒尺寸和分布以及晶化率的影响。

  实验原料为纯度99.99%的多晶硅粉末。电阻蒸发源为高纯度的石墨片,尺寸为80mm×5.8mm×1.7mm。采用普通玻璃为衬底,先用去离子水清洗,再分别用丙酮、无水乙醇超声清洗5min,最后用去离子水清理洗涤干净,表面皿中烘干。用DM-450A型真空镀膜机在玻璃衬底表面蒸镀一层非晶硅薄膜,并在非晶硅薄膜表面蒸镀1层相对较薄的铝膜,通过调节不同的工艺参数制备出若干样品。将样品放入箱式电阻炉中,在300-500℃下真空退火一段时间。将样品置于标准铝腐蚀液中腐蚀以去除表面残留的铝。

  采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上沉积1层非晶硅薄膜,再通过铝诱导晶化的办法能够制备出晶粒分布较均匀、晶粒尺寸0.5-5μm、晶化率达到89%的多晶硅薄膜。衬底距离对薄膜的表面形貌有明显影响,适中的衬底距离得到的薄膜晶粒分布均匀、表面平整度好,薄膜厚度较大。衬底温度和退火温度对薄膜的晶化率影响显著,在实验条件下,薄膜的晶化率随着衬底温度的提高而增大;随着退火温度的提高,薄膜的晶化率增大,当温度达到500℃时晶化率达到最大值,退火温度进一步提升,薄膜的晶化率反而降低。

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  1月17日由蒙城县开发区兴蒙投资有限公司、上海伏睿思特能源科技发展有限公司和蒙城繁枫真空科技有限公司共同投资建设330MW碲化镉薄膜太阳能电池生产项目签约仪式在蒙城繁枫真空产业园举行。据悉,蒙城县开发区兴蒙投资有限公司是蒙城县政府直属的国有独资公司,公司注册资本10亿元人民币。上海伏睿思特

  12月8日,湖北来凤县与苏州科韵激光科技有限公司举行湖北科韵激光薄膜太阳能智能装备落户项目投资协议签约仪式。据了解,苏州科韵激光科技有限公司是一家集开发、销售、生产制造、服务于一体的高新科技公司。

  11月22日,甘肃省人民政府关于印发甘肃省新材料产业发展规划的通知,通知指出,发展目标:到2030年,全省新材料产业规模实力、集群效应、创造新兴事物的能力实现新发展,新材料产业产值超过3000亿元,年均增速20%左右,不断满足传统产业转型升级和战略性新兴起的产业创新发展需求,建设成为国内重要、西部领先

  近日,工信部发布了2023年50个建材工业智能制造数字转型典型案例,瑞昌中建材光电材料有限公司的“年产100兆瓦确化铜发电玻璃光伏建筑一体化智能生产线案例、蚌埠凯盛工程技术有限公司的“薄膜太阳能电池智能传输解决方案”案例成功入选该名单。原文如下:近日,经地方工业和信息化主管部门及中央企业

  11月1日-3日,SNEC第八届(2023)国际储能技术和装备及应用(上海)展览会在上海隆重召开。本次展会吸引了来自全球数十个国家和地区的企业参展,展览面积约7万平方米,专业观众达十五万人次。宸瑞科技受邀携带储能应用模块薄膜电容器再次亮相此展会。《2023年中国储能发展白皮书》显示,预计到2025年,

  9月6日,福田区发展和改革局关于印发《深圳市福田区支持双碳经济高水平发展若干措施》的通知,通知指出,支持使用先进光伏技术在福田区开展分布式光伏项目建设,项目完成并网及验收通过后,结合低碳超市采购比例,对实际投入100万元以上的光伏项目按其上年度实际发电量给予支持,薄膜光伏示范项目不超

  爱企查显示,近日,明阳瑞科薄膜光伏科技(广东)有限公司成立,法定代表人为陈世强,注册资本5000万元,营业范围包含:光伏设备及元器件制造;半导体器件专用设备制造;储能技术服务等。通过股权穿透显示,该公司由明阳智能100%控股。明阳智能跨界光伏最早可追溯于2021年5月。据其公告显示,明阳智能5

  北极星太阳能光伏网从阿里资产平台获悉,江西赛维BEST太阳能公司存放在南昌综合保税区内的货物即将拍卖。标的物主要为太阳能薄膜电池片,功率在125-500W不等,货物估价为845.5万元。必须要格外注意的是,本次拍品存放在南昌综合保税区一片区原恒大厂房内,其尚未办结海关手续,货物出区前须按照海关要求办结

  近日,福莱特高效薄膜太阳能组件配套制造项目开工仪式在嘉兴国家高新区王店园举行。据了解,2023年2月底,福莱特高效薄膜太阳能组件配套制造项目完成签约。作为福莱特玻璃集团的全资子公司,福莱特光能有限公司注册成立。项目主要研发生产高效薄膜太阳能组件配套制造产品,应用于光伏建筑一体化及光伏

  北极星太阳能光伏网获悉,近日,人民法院诉讼资产网平台发布破产资产拍卖信息,其中重庆神华薄膜太阳能科技有限公司将拍卖名下的固定资产、在建工程、工程物资及非货币性资产。起拍价67603.17995万元,保证金6760.317995万元,增价幅度68万元。拍卖时间为2023年8月7日10时至2023年8月8日10时,距离拍卖开始

  7月26日,杭州市人民政府发布关于快速推进绿色能源产业高水平发展的实施建议。实施意见提出,2025年,绿色能源产业高质量发展规模质量、创新能级、应用推广水平明显提升,实现规上工业产值突破3000亿元,全市新型储能项目累计装机达40万千瓦,光伏累计装机达300万千瓦,可再次生产的能源发电量占本地发电总量的比重

  1月19日,中节能太阳能披露投资者关系活动记录表显示,截至2023年9月30日,公司运营、在建、拟建或正在进行收购电站规模约为9.36吉瓦,已累计锁定了约17吉瓦的优质自建太阳能光伏发电项目和收购项目规模。公司在2023年1月1日至2023年11月30日,共收到可再次生产的能源补贴资金15.54亿元,其中国家可再生能源

  1月19日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2024年1月15日-1月19日)。政策篇广西:2024年集中式风、光市场化交易电价0.38元/千瓦时1月7日,广西壮族自治区工业和信息化厅、广西壮族自治区发展和改革委员会发布关于明确新能源发电企业政府授权合约价格有关事宜的通知。《通知》表示现就2024年电力

  格普光能海外逐光之旅一直在路上,当地时间2024年1月16日,格普光能走进欧洲,精彩亮相为期三天的2024年第三届波兰华沙太阳能展(SOLARENERGYEXPO2024)。现场,格普光能以全面且完善的解决方案获得广泛关注。活力市场蒸蒸日上得益于波兰政府对可再次生产的能源的重视和支持,波兰光伏产业加快速度进行发展,已是欧洲

  1月18日,北京市发展和改革委员会北京市住房和城乡建设委员会北京市生态环境局发布关于组织并且开展可再次生产的能源供暖(制冷)项目典型案例申报工作的通知,原文如下:北京市发展和改革委员会北京市住房和城乡建设委员会北京市生态环境局关于组织并且开展可再次生产的能源供暖(制冷)项目典型案例申报工作的通知京发改

  1月19日,中节能太阳能发布向不特定对象发行可转换公司债券预案(修订稿)。公告显示,中节能太阳能拟通过可转债发行募集资金不超过29.5亿元用于察布查尔县25万千瓦/100万千瓦时全钒液流电池储能+100万千瓦市场化并网光伏发电项目-一期300MW项目等6个光储项目,合计容量900MW。据9个项目总投资45.66亿元

  1月17日,河南监管办通报河南省2023年12月份电力供需情况,其中太阳能发电量21.07亿千瓦时,同比增加27.21%;1-12月,太阳能发电量331.27亿千瓦时,同比增加60.92%。原文见下:河南省2023年12月份电力供需情况通报2023年12月,全省全社会用电量386.27亿千瓦时,同比增加11.08%;累计用电量4089.53亿千

  12月份,规模以上工业(以下简称规上工业)主要能源产品生产继续保持稳定增长。与11月份相比,原煤、天然气、电力增速有所放缓,原油增速加快。一、原煤、原油和天然气生产及相关情况原煤生产稳定增长,进口快速地增长。12月份,规上工业原煤产量4.1亿吨,同比增长1.9%,增速比11月份放缓2.7个百分点,日

  1月15日,四川省发展和改革委员会关于通威太阳能光伏产业研发技术中心(二期)节能报告的审查意见发布,原文如下:四川省发展和改革委员会关于通威太阳能光伏产业研发技术中心(二期)节能报告的审查意见(川发改环资函〔2024〕13号)通威太阳能(成都)有限公司:你单位《关于报送通威太阳能光伏产业

  1月12日,中节能太阳能发布业绩预告称,2023年公司预盈利15亿元–16.5亿元,同比增长8.18%–19.00%,扣除非经常性损益后的净利润预盈利14.1亿元–15.6亿元,同比增长8.97%–20.56%。对于业绩增长原因,中节能太阳能表示,一是公司电站装机规模增加,公司加强运维管理,发电量对比上年同期增加;二是公

  Romania-insider1月3日消息,全球最大太阳能电池板制造商之一中国隆基集团与以色列NofarEnergy罗马尼亚公司签署了一份容量576兆瓦的技术销售协议。该协议是罗迄今为止签署的同类协议中最大一笔交易。项目装机容量255兆瓦,位于丹博维察县CorbiiMari,是罗最大光伏园区,占地290公顷。该项目将配备隆基设

  近日,通化市人民政府印发《通化市碳达峰实施方案》,提出,“十四五”期间,产业体系和能源结构调整优化取得明显进展,能源资源利用效率显著提升,新能源产业得到一定效果开发,新型电力系统加快构建,绿色生产生活方式被公众普遍接受。到2025年,非化石能源消费比重达到16%以上,单位地区生产总值能源消

  日前,有投资者向特变电工提问,您好,请问公司内蒙古新特和准东新建的硅料厂是否都已经达产,硅料完全成本达到5万元的预期成本了吗,目前是否都生产N型料?公司回答表示,您好,在内蒙古10万吨多晶硅项目、准东10万吨多晶硅项目满产的状态下,多晶硅完全成本能控制在5万元/吨以内。公司内蒙古多晶硅

  本周n型硅料成交价格的范围为6.7-7.5万元/吨,均价为6.96万元/吨,环比上涨2.65%;单晶致密料成交价格的范围为5.3-6.3万元/吨,均价为5.85万元/吨,环比上升0.65%;n型颗粒硅成交价格的范围为5.8-6万元/吨,均价为5.9万元/吨,环比持平。本周硅料价格n型小幅上涨,p型基本稳定,部分小单急单成交出现较高价。

  1月1日,内蒙古自治区包头市委员会包头市人民政府联合印发2024年市委一号文件《关于加快实施创新驱动发展的策略推进战略性新兴起的产业发展提质提效的实施建议》,文件提出,全方面提升“世界绿色硅都”能级,加快构建完整产业链和产业生态,打造更高能级的“世界绿色硅都”。2024年,全市晶硅光伏产业产值

  1月5日,中来股份发布重要项目的投资进展公告,其中,16GW高效单晶电池智能工厂项目一期8GW已投产,二期8GW项目主要设备已安装,部分产线万吨高纯多晶硅项目已完成硅料项目公司的新设,硅料项目已取得山西省企业投资项目备案证,目前项目环境影响评估报告与节能评

  2023年12月13日,内蒙古九原工业园区内蒙古大全新能源有限公司硅基材料项目“10·16”一般起重伤害事故调查报告公布。报告说明,2023年10月16日16时26分,九原区应急管理局接到企业报告,13时20分左右,内蒙古大全新能源有限公司硅基材料项目发生一起起重伤害事故,造成1人死亡,直接经济损失约人民币2

  本周n型硅料成交区间在6.7-7万元/吨,成交均价为6.78万元/吨,环比持平;单晶致密料成交区间在5.6-6万元/吨,成交均价5.83万元/吨,环比下降2.02%。本周n型价格坚挺,p型价格持续走低,且p型硅料内部价格分化情况逐渐显现。本周大部分企业都开始洽谈新一批订单,部分企业已有成交,其中n型硅料有6家企

  2023年12月25日晚,通威股份(下称“通威”“公司”)公告称公司拟与鄂尔多斯市人民政府、准格尔旗人民政府共同签署《绿色基材一体化项目投资协议书》,就公司在鄂尔多斯市准格尔旗准格尔经济开发区投资280亿元,建设绿色基材一体化项目达成合作。公告显示,此次项目包括年产50万吨绿色基材(工业硅)

  根据中国光伏行业协会对掌握的企业样本数据统计,2023年11月,太阳能级多晶硅产量环比下降6.4%,同比增长0.6%;硅片产量环比下降0.4%,同比增长28.9%,其中单晶硅片产量占比约99.9%;电池片产量环比下降4.0%,同比增长42.5%,其中单晶电池片产量占比约98.6%;组件产量环比下降2.7%,同比增长34.8%,其中

  12月26日,通威股份发布了重要的公告称,计划总投资约280亿元人民币在鄂尔多斯市建设绿色基材一体化项目。项目分两期建设,其中一期建设20万吨绿色基材(工业硅)及20万吨高纯晶硅项目,预计投资额合计约130-140亿元,具体以项目实施为准;二期建设30万吨绿色基材(工业硅)及20万吨高纯晶硅项目,依据市场条件

  12月22日,天富能源发布公告称,近日公司控股子公司新疆天富伟业工程有限责任公司中标工程建设项目,中标金额15,000万元,项目名称为新疆晶晖新材料有限公司年产2×10万吨高纯多晶硅项目(一期建设年产10万吨高纯多晶硅生产装置及配套辅助设施)根据公告,上述项目中标后,其合同的签订和履行将对天富能源